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等離子清洗機(jī)主要是通過氣體放電產(chǎn)生等離子體,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質(zhì),具有活化材料表面的作用,根據(jù)反應(yīng)類型不同,等離子清洗機(jī)的清洗技術(shù)可分為兩類。等離子體物理清洗,即借助活性粒子和高能射線轟擊而使污染物脫離;等離子體化學(xué)清洗,即通過活性粒子與雜質(zhì)分子反應(yīng)而使污染物揮發(fā)脫離。下面就簡單為大家介紹一下等離子清洗機(jī)清洗技術(shù)的分類。
等離子清洗機(jī)清洗技術(shù)的分類:
(1)激發(fā)頻率對等離子清洗機(jī)的清洗類型具有一定影響。例如,超聲等離子體發(fā)生的反應(yīng)多為物理反應(yīng);微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)多為化學(xué)反應(yīng);而射頻等離子體則涉及到物理、化學(xué)雙重反應(yīng)類型。
?。?)工作氣體種類對等離子清洗機(jī)的清洗類型也具有一定影響。例如,惰性氣體Ar2、N2等被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體主要用于物理清洗,借助轟擊作用使材料表面清潔。反應(yīng)性氣體O2、H2等被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體則主要用于等離子清洗機(jī)的化學(xué)清洗,借助活潑自由基與污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),產(chǎn)生二氧化碳、水等小分子,從材料表面移除。
?。?)等離子清洗機(jī)的清洗類型對清洗效果具有一定的影響。等離子清洗機(jī)物理清洗可使材料表面的粗糙度增加,有助于提高材料表面的附著力。等離子清洗機(jī)化學(xué)清洗可以顯著增加材料表面的含氧、含氮以及其他類型的活性基團(tuán),有助于改進(jìn)材料的表面浸潤性。